Sub-100 nm IC 제조용 화학약품 및 재료

반도체 업계의 동향, 액체, 기체 약품 및 스퍼터링 재료에 관련된 기술 과제, 순도 요건, 관리법, 실제로 사용되고 있는 약품 전달 방법, 향후의 예측 및 고객 과제 등에 대해 전해드립니다.

제1장 서론

제2장 개요

제3장 IC 업계의 동향
• IC 업계의 발전 예측
• IC 프로세싱 기술의 동향
• ESH 과제

제4장 액체 약품
• 기술 과제
  • 산과 용제
  • 레지스트
• 순도 요건
  • 정화 방법
  • 미립자
• 약품 관리
  • 개요
  • 약품 사용량의 감소

제5장 기체
• 기술 과제
• 요건
  • 정화 방법
  • 미립자
  • 요약
• 약품 관리

제6장 스퍼터링 및 증발 재료
• 기술 과제
• 순도 요건

제7장 약품 전달
• 벤더의 대체 전달법
  • 병
  • 벌크 제공
• POUCG
• 약품 관리 서비스
  • 개요
  • 프로세스의 개시
  • CMS 공급자의 책무
  • 약품 이용의 발전
  • JIT 재고 관리
  • 환경 서비스
  • 최적화 약품 전달
  • 재생 장치 관리
  • 비용/이점
  • 동향

제8장 시장 예측
• 시장 영향 요인과 가정
• 약품 및 재료에 관한 예측
  • 약품 및 재료별 예측
  • 처리되는 실리콘의 단위면적당 약품 이용량
  • 시장 점유율
  • NF3 시장 분석

제9장 고객 과제
• 벤더의 벤치마킹
  • 품질 관리 통계
  • 분석 능력
  • 제품의 제조/소싱
  • 일반적 견해
• 사내 품질 관리와 보증
  • 분석 도구
  • 테스트의 실시 횟수
  • 배기가스 분석