|
통신과 집적 회로, 컴퓨터 공업 분야의 시장 조사에서 세계적으로 높이 평가 받고 있는 The Information Network (본사:펜실베니아주)에서는 VLSI 제조에 대한 클린룸 설계 및 오염 방지 대책에 관하여 조사 분석하고 정리한 보고서 “Cleanrooms and Contamination Control in VLSI Manufacturing” 을 발행하였습니다.
본 보고서는 클린룸의 설계, 세계의 반도체 Fab개요, 클린품의 면적, 액체 약품과 탈 이온수, 가스와 같은 각종 오염 과제의 개요, 사용자 및 공급자의 과제, 향후 예측 등에 대해 대략 아래와 같은 구성으로 전해 드립니다.
제3장 클린룸의 설계
- Airflw Filtering
- 정전 방전
- ASIC 기기의 영향
- VLSI 기기의 영향
- 공장 자동화와
- 300mm 웨이퍼의 영향
제4장 세계의 반도체 Fab
- 북미
- 유럽
- 일본
- 한국
- 대만
- 기타
각 Fab에 관한 사항
- 기업명
- 주소
- 제조 웨이퍼 사이즈
- 최소 기능 사이즈
- 처리 기술
- 주요 제품
- 종업원 수
- 플랜트 면적
- 클린룸 면적
제5장 오염 과제
- 액체 약품
- 정화 방법
- 입자형 물질
- 벌크 유통 또는 병
- 파이핑 시스템 구축
- 탈 이온수
- 정화에 관한 사양
- 순도 측정 기술
- 여과와 한외 여과
- 파이핑 시스템 구축
- 탈 이온수 시스템 비용
제6장 시장 예측
- 시장 예측의 가정
- 클린룸의 건설
- Wet Statins와 스프레이 프로세서
- 액체 및 기체 필터에 관한 예측
- 가스 정제 시스템 시장
제8장 공급자의 전략적 과제
- 처리 기기의 청정도
- 공급자의 전략
- 공급자의 비즈니스 기회
|
