|
ÈÞ´ëÀüÈ ºÐ¾ß¿¡¼ MEMS ±â¼úÀÇ ½ÃÀå ±Ô¸ð, ½ÃÀå ¿¹Ãø, ½ÃÀå ÃËÁø¿äÀÎ, ±â¼ú ½ÃÀå ±¸ºÐ, »ê¾÷ÀÇ °úÁ¦ µîÀ» Á¶»çÇÏ¿© ÁÖ¿ä ±â¾÷ÀÇ ÇÁ·ÎÆÄÀϰú ÇÔ²² ÀüÇØµå¸³´Ï´Ù.
Á¦4Àå ±â¼ú ½ÃÀå ±¸ºÐ
- RF MEMS FBAR ½ÃÀå
- ½Ç¸®ÄÜ ¸¶ÀÌÅ© ½ÃÀå
- ÈÞ´ëÀüÈÀÇ °¡¼Óµµ°è ½ÃÀå
- ¿ÀÅäÆ÷Ä¿½º ¹× ¸¶ÀÌÅ©·ÎÁò
- MEMS ±â¹ÝÀÇ Áøµ¿ÀÚ
Á¦6Àå ÈÞ´ëÀüÈ ¾ÖÇø®ÄÉÀÌ¼Ç ½ÃÀåÀÇ ÁÖ¿ä ±â¾÷
pmh
|