|
½Ç¸®ÄÜ MEMS ¹ßÁø±âÀÇ ±â¼ú, ¾÷°è, ½ÃÀå µ¿ÇâÀ» Á¶»ç ºÐ¼®Çϰí, Á¦Ç° Ä«Å×°í¸®¤ý±â¼ú¤ý½ÃÀå µµ¸ÞÀΤýÁö¿ªº° ½ÃÀå±Ô¸ð, ÁÖ¿ä Áö¿ª ¹× ÇâÈÄÀÇ ½ÃÀå±âȸ, ±â¼ú°³¹ß µ¿Çâ, °¢Á¾ ½ÃÀå ¿µÇâ¿äÀÎ, ƯÇã µ¥ÀÌÅÍ, ÁÖ¿ä ±â¾÷ÀÇ ÇÁ·ÎÆÄÀÏ µî¿¡ ´ëÇØ ÀüÇØµå¸³´Ï´Ù.
3. ¾÷°è ¹× ±â¼ú °³¿ä
- MEMS ¹ßÁø±âÀÇ ±âº» Á¤º¸
- Àç·á
- MEMS °øÁø±âÀÇ ´Ù¸¥ ±¸Á¶
- ÀϹÝÀû ¹ßÁø±âÀÇ ¼º´ÉÁö¼ö(Performance Parameter)
- ÀüÀÚÀû Á֯ļö º¸»ó
- Á¦Á¶ ¼³ºñ¿Í CMOS, MEMSÀÇ ÅëÇÕ
- MEMS ¹ßÁø±â Á¦Ç° Ä«Å×°í¸®
- MEMS ¹ßÁø±âÀÇ ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ǰú ½ÃÀå
- MEMS ¹ßÁø±â ½ÃÀåÀÇ Ä§Åõµµ¿Í °úÁ¦
- »ó¾÷ÀûÀ¸·Î ÀÔ¼ö °¡´ÉÇÑ Á¦Ç°
- MEMSÀÇ ½ÅÈï ±â¼ú°ú °³¹ß
4. ¼¼°èÀÇ MEMS ¹ßÁø±â ½ÃÀå
- Á¦Ç° Ä«Å×°í¸®º° ½ÃÀå
- ±â¼úº° ½ÃÀå
- µµ¸ÞÀκ° ½ÃÀå
- Áö¿ªº° ½ÃÀå
5. ¾÷°è ±¸Á¶¿Í ½ÃÀå µ¿Çâ
- ½ÃÀå µ¿Çâ
- ±â¼ú°³¹ßÀÇ ÇöȲ
- MEMS ¹ßÁø±â¿ë ÆÄ¿îµå¸®
- °æÇÕ
- ÇÕº´ °Å·¡
6. ƯÇã ¹× Æ¯Ç㠺м®
- ÃëµæÇÑ Æ¯Çã ¸®½ºÆ®
- ƯÇ㠺м®
- MEMS ¹ßÁø±â ƯÇã Ȱµ¿ÀÇ ±¹Á¦Àû °³¿ä
- ¼¼°è ÁöÀû¼ÒÀ¯±Ç±â±¸¿¡ ÀÇÇÑ Æ¯Çã ¸®½ºÆ®
- EU¿¡ ÀÇÇÑ Æ¯Çã ¸®½ºÆ®
7. ±â¾÷ ÇÁ·ÎÆÄÀÏ
- ABRACON CORPORATION
- DALSA SEMICONDUCTOR
ksm
|