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시장보고서
VLSI 제조에 대한 측정, 검사 및 공정 관리
Metrology, Inspection, and Process Control in VLSI Manufacturing
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The Information Network 에서 2012년 02월 에 발행한 「VLSI 제조에 대한 측정, 검사 및 공정 관리」 보고서는 US $2,495 부터 구매 가능합니다.
통신과 집적 회로, 컴퓨터 공업 분야의 시장 조사에서 세계적으로 높이 평가 받고 있는 The Information Network (본사:펜실베니아주)에서는 VLSI(대규모 집적 회로)제조에 대한 측정, 검사 및 공정 관리 기술 시장에 대하여 조사 분석하고 정리한 보고서 “Metrology, Inspection, and Process Control in VLSI Manufacturing” 을 발행하였습니다. 본 보고서는 리소그라피, 웨이퍼 검사, 박막 측정을 비롯한 다양한 측정 기술 시장에 관한 동향 분석과 향후 예측 등에 대해 대략 아래와 같은 구성으로 전해 드립니다. 제3장 측정/검사 기술 - 개요
- 이미징 기술
- SEM(주사 전자 현미경)
- TEM(투과 전자 현미경)
- 주사 프로브 현미경
- AFM(원자간력 현미경)
- STM(주사 터널 현미경)
- SPM(주사 프로브 현미경)
- AFM의 종류
- SSPM(표면 전립 현미경)
- 광 기술
- 광파 산란 계측
- TXRF(전 반사 형광 X선 분석)
- EDX(에너지 분산형 형광 X선 분석)
- SIMS(이차 이온 질량 분석)
- 오우거 전자 분광 분석법
- FIB(초점 이온 빔)
- XRR(X선 반사율)
- XPS(X선 광전자 분광법)
- RBS(리더퍼드 후광 산란 분석법)
- 광 음향 측정
- FTIR(프리에 변환 적외 분광 광도계)
- TIVA
- 필름의 두께와 조도
- 표면 검사 기술
- 차원 기술
- Stylus Profilometer
제4장 결함 점검/웨이퍼 검사 - 정의
- 결함의 해석
- 패턴화 된 웨이퍼 검사
- 패턴화 되지 않은 웨이퍼 검사
- 매크로 결함 검사
제5장 박막 측정 - 개요
- 금속제 박막 측정
- 비금속제 박막 측정
- 기판 측정
제6장 리소그라피 측정 - 오버레이
- CD
- 마스크(Reticle)측정/검사
제7장 시장 예측 - 개요
- 시장 예측의 가정
- 시장 예측
- 프로세스 컨트롤 시장
- 리소그라피 측정 시장
- 웨이퍼 검사/결함 점검 시장
- 박막 측정 시장
- 기타 프로세스 컨트롤 시스템 시장
제8장 통합 측정/In-situ 측정/검사 동향 - 개요
- In-situ(현 위치) 측정
- 통합 측정
제9장 주요 영향 요인 - 300mm 웨이퍼
- 동의 측정
- 저 유전율 절연박
- CMP(화학적 기계 연마)
- 이온 주입
- 400mm 웨이퍼
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