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시장보고서
IC 프로세스에 대한 클러스터 툴
Cluster Tools In IC Processing: Technology and Market Forecasts
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The Information Network 에서 2011년 01월 에 발행한 「IC 프로세스에 대한 클러스터 툴」 보고서는 US $2,495 부터 구매 가능합니다.
통신과 집적 회로, 컴퓨터 공업 분야의 시장 조사에서 세계적으로 높이 평가 받고 있는 The Information Network (본사:펜실베니아주)에서는 클러스터 툴에 관하여 조사 분석하고 정리한 보고서 “Cluster Tools In IC Processing: Technology and Market Forecasts” 을 발행하였습니다. 본 보고서는 클러스터의 컨셉, 인터페이스 규격, 시장에 전개되고 있는 클러스터 툴의 개요, 프로세스 동향과 과제, 비용 및 인적 과제와 향후 전망 등에 대해 대략 아래와 같은 구성으로 전해 드립니다. 제3장 인터페이스 규격- SEMI/MESC
- SECS I와 SECS II
- HSMS 규격
- GEM
- 규격의 방향성
제4장 클러스터의 컨셉- 정의
- 디바이스 테크놀러지와 통합프로세싱
- 주요 기능 유닛
- 중앙 처리 플랫 폼
- 카세트 스테이션
- 확장 모듈
- 싱글 프로세스 모듈
- 배치 모듈
- 멀티 프로세스 모듈
- 클러스터 툴 통신
- 클러스터 툴 컨트롤러
- 전송 모듈 컨트롤러
- 프로세스 모듈 컨트롤러
- 컨트롤 소프트웨어
- 휴먼 인터페이스 소프트웨어
- 네트워킹 소프트웨어
제6장 클러스터 툴 프로세스 동향- 개요
- 증착：플라즈마 에칭
- 증착：고속 열 처리
- 리소그라피：저항 처리
- 진단：프로세스
- CMP 연마
제7장 클러스터 툴의 과제- 개요
- 기기의 신뢰성
- 기기의 유지 용이성
- 과제
- 기회
제8장 비용 및 인적 과제- 개요
- 비용의 정당성
- 배경
- 비용의 정당성
- 적립금
- 인건비
- 기타 ROI에 관한 견해
- 인재의 영향
- 배경
- 직접 고용
- 기기 지원
- 프로세스 엔지니어링
- 오퍼레이션 스텝
제9장 시장 예측- 개요
- 시장 예측의 가정
- 시장 예측
- 기기 시장
- 연성 클러스터 툴 시장
- 비연성 클러스터 툴 시장
- 클러스터 툴 시장
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