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시장보고서

세계의 IC 제조용 기기 및 재료 시장

The Global Market for Equipment and Materials for IC Manufacturing

리서치사 The Information Network
발행일 2012년 04월 상품코드 6131
페이지 정보
가격
US $ 4,995 ￦ 5,951,500 PDF by E-mail


The Information Network 에서 2012년 04월 에 발행한 「세계의 IC 제조용 기기 및 재료 시장」 보고서는 US $4,995 부터 구매 가능합니다.

한글목차

IC 제조에 관련된 각종 기기 및 재료 시장의 동향, 과제 및 향후 전망 등에 대해 전해드립니다.

    제1장 서론
    제2장 저유전체 층간 절연체의 과제 및 동향
    • 서론
    • 이상적인 유전체
    • 저유전체 층간 절연체의 종류
      • FSG
      • HSQ
      • Nanoporous Silica
      • Spin-on Polymers
      • BCB
      • Flowfill
      • CVD
      • AF4
      • PTEE
    • 요약
      • 프로세싱 관련 과제
      • 통합 관련 과제
    제3장 리소그래피의 과제 및 동향
    • 광학 시스템
    • X선 시스템
    • 전자빔 시스템
    • 이온빔 시스템
    • 나노임프린트 리소그래피(NIL:Nano Imprint Lithography)
    • 신기술
    • 리소그래피의 소유 비용에 있어서의 혁신
    • 결론
    제4장 CMP의 과제 및 동향
    • 평탄화의 필요성
      • 리소그래피
      • 증착
      • 에칭
    • 용도
      • 유전체
      • 금속
    • 평탄화 기술
      • 국소 평탄화
      • 전면 평탄화
    • CMP
      • 배경
      • 조사 목적
      • 이점 및 결점
      • 프로세스 파라미터
    제5장 공장자동화(FA : Factory Automation)의 과제 및 동향
    • 자동화의 요소
    • 플렉시블 오토메이션
    • 신뢰성
    • 툴 관련 과제 및 동향
    제6장 박막 증착의 과제 및 동향
    • PVD
    • CVD 기술
    제7장 플라즈마 에칭의 과제 및 동향
    • 서론
    • 프로세싱 과제
    • 플라즈마 스트립핑
    제8장 클러스터 툴의 과제 및 동향
    • 정의
    • 디바이스 기술 및 통합 프로세싱
    • 주요 기능 유닛
    • 클러스터 툴 커뮤니케이션
    • 진공 시스템 설계
    • 동향
    제9장 약품 및 재료의 과제 및 동향
    • 액체 약품
    • 순도 요건
    • 약품 관리
    • 기체
    • 약품 관리
    • 스퍼터링 및 증착 재료
    제10장 오염의 과제 및 동향
    • 액체 약품
    • 기체
    • 탈이온수
    • 처리 기기
    제11장 측정
    • 결함검사/웨이퍼 검사
    • 박막 측정
    • 리소그래피 측정
    제12장 시장 예측
    • 시장 영향요인
    • 시장 예측 전제조건
    • Low-K
    • 리소그래피
    • CMP
    • FA
    • 박막 증착
    • 플라즈마 에칭
    • 클러스터 툴
    • 약품 및 재료
    • 클린룸 및 오염
    • 측정
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