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¼¼°èÀÇ MEMS Àåºñ ¹× Àç·á ½ÃÀå : 2009³â
WMEM 2009
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Yole Developpement ¿¡¼ 2009³â 08¿ù ¿¡ ¹ßÇàÇÑ ¡¸¼¼°èÀÇ MEMS Àåºñ ¹× Àç·á ½ÃÀå : 2009³â¡¹ º¸°í¼´Â 246 pages·Î ±¸¼ºµÇ¾î, US $5,290 ºÎÅÍ ±¸¸Å °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
2009³â ¹× 2010³âÀÇ MEMS Á¦Á¶ Åø ½ÃÀåÀº º¸ÇÕ¼¼¸¦ À¯ÁöÇÒ Àü¸ÁÀÌÁö¸¸, MEMS ÀåºñÀÇ ¿¬±¸ °³¹ßÀº 2011³â ½ÃÀå ¼ºÀåÀÌ ¿¹ÃøµÇ¾î °è¼ÓÇØ¼ Ȱ¹ßÈ÷ ÇàÇØÁö°í ÀÖ½À´Ï´Ù. MEMS Àåºñ ½ÃÀåÀº 2012³â±îÁö ¹ÌÈ 5¾ï ´Þ·¯¿¡ µµ´ÞÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹ÃøµË´Ï´Ù. µð¹ÙÀ̽ºº°, ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼Ǻ° MEMS ½ÃÀå ºÐ¼®, ¾÷°è ÀÎÇÁ¶óÀÇ Çõ½Å µ¿Çâ, Àåºñ ¹× Àç·á ½ÃÀåÀÇ ¿¹Ãø ¹× ÁÖ¿ä µ¿Çâ¿¡ ´ëÇØ ÀüÇØµå¸³´Ï´Ù. 3. MEMS Á¦Á¶ ÀÎÇÁ¶óÀÇ ¹ßÀü - MEMS Á¦Á¶»ç : ÁÖ¿ä 30»ç
- MEMS ÆÄ¿îµå¸® : ÁÖ¿ä 20»ç
- 8ÀÎÄ¡ MEMS ÇÁ·ÎÁ§Æ®ÀÇ ÇöȲ
4. ÇöÀç °¡Àå »ó½Â¼¼¿¡ ÀÖ´Â MEMS µð¹ÙÀ̽º - ÈÞ´ëÀüÈ¿ë
- RF ½ºÀ§Ä¡
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5. MEMS Àåºñ/Àç·á ½ÃÀåÀÇ ¿¹Ãø : 2008³â¡2012³â - Åø Á¾·ùº° ½ÃÀå ¿¹Ãø
- MEMS ¿þÀÌÆÛÀÇ ÃâÇÏ
- 6ÀÎÄ¡ ¿þÀÌÆÛ¿Í 8ÀÎÄ¡ ¿þÀÌÆÛÀÇ ÃâÇÏ
- MEMS ½ÃÀå¿ë ÈÇÐǰÀÇ ¿¹Ãø
6. MEMSÀÇ Á¦Á¶ : µ¿Ç⡤±â¾÷¡¤½ÃÀå - ÅëÇÕ ¼¾¼ ½ÃÀå : MEMS ¹× ICÀÇ ±â¼ú µ¿Çâ
- DRIE
- Èñ»ýÃþ ¿¡Äª(Sacrificial Etching)
- ÅðÀû°ú ¼¼Á¤
- º»µù
- ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ(Lithography)
- MEMS on IC
- ±Ô°Ý
- TSV(Through-Silicon Via)
- CAD ÅøÀÇ Å×½ºÆ®
7. MEMS Àç·á ½ÃÀå - Si ¿þÀÌÆÛ
- SOI ¿þÀÌÆÛ
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