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¼¼°èÀÇ MEMS Àåºñ ¹× Àç·á ½ÃÀå : 2009³â

WMEM 2009

¸®¼­Ä¡»ç Yole Developpement
¹ßÇàÀÏ 2009³â 08¿ù »óǰÄÚµå 98730
ÆäÀÌÁö Á¤º¸ 246 pages
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US $ 5,290 £Ü 5,997,800 PDF by E-mail (Single User License)
US $ 6,650 £Ü 7,539,700 PDF by E-mail (Multi-User Single Site License)
US $ 7,990 £Ü 9,059,000 PDF by E-mail (Multi-User Multi-Site License)


Yole Developpement ¿¡¼­ 2009³â 08¿ù ¿¡ ¹ßÇàÇÑ ¡¸¼¼°èÀÇ MEMS Àåºñ ¹× Àç·á ½ÃÀå : 2009³â¡¹ º¸°í¼­´Â 246 pages·Î ±¸¼ºµÇ¾î, US $5,290 ºÎÅÍ ±¸¸Å °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.

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2009³â ¹× 2010³âÀÇ MEMS Á¦Á¶ Åø ½ÃÀåÀº º¸ÇÕ¼¼¸¦ À¯ÁöÇÒ Àü¸ÁÀÌÁö¸¸, MEMS ÀåºñÀÇ ¿¬±¸ °³¹ßÀº 2011³â ½ÃÀå ¼ºÀåÀÌ ¿¹ÃøµÇ¾î °è¼ÓÇØ¼­ Ȱ¹ßÈ÷ ÇàÇØÁö°í ÀÖ½À´Ï´Ù. MEMS Àåºñ ½ÃÀåÀº 2012³â±îÁö ¹ÌÈ­ 5¾ï ´Þ·¯¿¡ µµ´ÞÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹ÃøµË´Ï´Ù.

µð¹ÙÀ̽ºº°, ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼Ǻ° MEMS ½ÃÀå ºÐ¼®, ¾÷°è ÀÎÇÁ¶óÀÇ Çõ½Å µ¿Çâ, Àåºñ ¹× Àç·á ½ÃÀåÀÇ ¿¹Ãø ¹× ÁÖ¿ä µ¿Çâ¿¡ ´ëÇØ ÀüÇØµå¸³´Ï´Ù.

    1. °³¿ä
    2. MEMS µð¹ÙÀ̽º ½ÃÀå
    3. MEMS Á¦Á¶ ÀÎÇÁ¶óÀÇ ¹ßÀü
    • MEMS Á¦Á¶»ç : ÁÖ¿ä 30»ç
    • MEMS ÆÄ¿îµå¸® : ÁÖ¿ä 20»ç
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    • ÈÞ´ëÀüÈ­¿ë
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    5. MEMS Àåºñ/Àç·á ½ÃÀåÀÇ ¿¹Ãø : 2008³â¡­2012³â
    • Åø Á¾·ùº° ½ÃÀå ¿¹Ãø
    • MEMS ¿þÀÌÆÛÀÇ ÃâÇÏ
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    • MEMS ½ÃÀå¿ë È­ÇÐǰÀÇ ¿¹Ãø
    6. MEMSÀÇ Á¦Á¶ : µ¿Ç⡤±â¾÷¡¤½ÃÀå
    • ÅëÇÕ ¼¾¼­ ½ÃÀå : MEMS ¹× ICÀÇ ±â¼ú µ¿Çâ
    • DRIE
    • Èñ»ýÃþ ¿¡Äª(Sacrificial Etching)
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    • MEMS on IC
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    7. MEMS Àç·á ½ÃÀå
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